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中国科学院电子学研究所邹旭东研究员应邀来我院交流访问

日期:2019-04-04   作者:安跃华   点击数:


   2019年4月3号下午两点,应物理与光电工程学院的邀请,中国科学院电子学研究所邹旭东研究员在我院308会议室做了题为“MEMS传感器的发展与应用”的学术报告。物理与光电工程学院的部分师生听取了报告。

邹旭东,2009年本科毕业于北京大学,2013年博士毕业于剑桥大学工程系。并曾先后在北京大学“微米/纳米加工技术国家重点实验室”与剑桥大学“纳米科学中心”从事研究工作。现任中国科学院电子学研究所研究员,中国科学院大学教授。入选中组部第十二批“千人计划”青年项目,山西省“百人计划”合作人才建设项目。主要从事微机械谐振器,高精度微惯性传感器,振动式微发电机,分布式传感系统以及微纳加工工艺开发等研究。研究成果在MEMS以及传感器领域内顶级期刊(JMEMS等)及顶级国际会议(Transducers,MEMS等)上共发表论文30余篇,已申请发明专利9项,其中6项国际(PCT)专利,1项PCT专利在世界主要国家获得授权。与瑞典Silex Microsystem公司合作成功开发一套专用高性能惯性传感器微加工工艺流程并实现技术转让。

报告中,邹旭东教授首先回顾了微机电系统技术的发展历史,介绍里程碑式的技术和产品情况,之后结合汽车、智能手机等案例介绍现有MEMS传感器的典型应用,最后将展望MEMS传感器未来的发展趋势并探讨所面临的机遇与挑战等内容。报告结束后,邹旭东教授与参会师生就MEMS传感器专业技术问题、应用前景等进行了深入的交流与讨论,并对参会师生提出的问题一一进行解答。

此次报告由新型传感器与智能控制教育部/山西省重点实验室与物理与光电工程学院联合举办。